专利摘要显示，本发明提出一种具有双平台结构的晶圆自动调平装置及调平方法，该装置包括支承装配机构及承载调平机构，承载调平机构包括承载支托组件、晶圆定位组件、弹性转接组件、顶压调节组件及晶圆升降组件，该晶圆自动调平机构的承载支托组件和晶圆定位组件均通过活动连接结构安装，并能在各自的范围内独立调节位置，提高了装置的通用性和灵活性，顶压调节组件通过顶压电机和顶压凸轮的配合，实现对承载支托组件的自动调平操作，确保晶圆在检测过程中始终保持水平状态，能有效地对晶圆检测平台水平度进行实时调整，从而获得更准确精准的晶圆测量数值，提升集成电路加工质量，同时该调平机构设有一对承载调平机构，可同时运行，有利于提高晶圆检测速度。
天眼查资料显示，嘉兴微拓电子科技股份有限公司，成立于2014年，位于嘉兴市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，嘉兴微拓电子科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1次，专利信息24条，此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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